美少妇 【瞧咱们的前沿科技】12英寸碳化硅衬底完了激光剥离

发布日期:2025-04-02 05:20    点击次数:65

美少妇  【瞧咱们的前沿科技】12英寸碳化硅衬底完了激光剥离

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  本报北京3月30日电(记者晋浩天)由西湖大学孵化的西湖仪器,日前告成完了12英寸碳化硅衬底激光剥离自动化搞定决策,大幅裁减损耗,晋升加工速率,推动了碳化硅行业降本增效。

与传统硅材料比拟,碳化硅具有禁带宽度大、熔点高、热导率高档优点,概况在高温、高电压条款下踏实责任,已成为新动力和半导体产业升级的重要材料,其应用概况进一步推动了电动汽车、光伏发电、智能电网、无线通讯等领域的本领变革。然则,碳化硅硬度仅次于金刚石,加工一直靠近宽绰挑战。传统切割要津犹如“锯木”,不仅效果低,损耗严重,还容易导致材料衬底翘曲,极地面终局了碳化硅的大界限应用。

凭借西湖大学仇旻团队在光电领域永久研发蕴蓄的本领上风,西湖仪器告成拓荒出一套全新的碳化硅激光剥离本领。该本领欺诈碳化硅的透光性,将激光打在材料里面酿成数亿个极轻微的“爆破点”,完了晶锭一层层自动剥离。“与传统切割比拟,用激光剥离碳化硅衬底不仅定位精确,加工均匀,况且出片速率大幅晋升,材料损耗裁减了一半。”仇旻说。另据预测,到2027年,民众碳化硅功率器件阛阓界限将达67亿好意思元。而当下炙手可热的AR智能眼镜,相同以“碳化硅”为镜片材料完成性能跃迁,瞻望2030年民众AR智能眼镜阛阓界限将打破3000亿好意思元,成为碳化硅材料应用的又一个“新蓝海”。

据了解,此前美少妇,西湖仪器已领先推出“8英寸导电型碳化硅衬底激光剥离缔造”,并于本年1月荣获“国内首台(套)装备”认定。“12英寸碳化硅衬底激光剥离缔造的问世,将进一步助力碳化硅飞入寻常匹夫家。”仇旻说。